一方麵破壞汙物與清洗件表麵的吸附，另一方麵能引起汙物層的疲勞破壞而被駁離，氣體型氣泡的振動對固體表麵進行擦洗，汙層一旦有縫可鑽，氣泡立即“鑽入”振動使汙層脫落，由於空化作用，兩種液體在界麵迅速分散而乳化，當固體粒子被油汙裹著而粘附在清洗件表麵時，油被乳化、固體粒子自行脫落，超聲在清洗液中傳播時會產生正負交變的聲壓，形成射流，衝擊清洗件，同時由於非線性效應會產生聲流和微聲流，而超聲空化在固體和液體界麵會產生高速的微射流，所有這些作用，能夠破壞汙物，除去或削弱邊界汙層，增加攪拌、擴散作用，加速可溶性汙物的溶解，強化化學清洗劑的清洗作用。由此可見，凡是液體能浸到且聲場存在的地方都有清洗作用，其特點適用於表麵形狀非常複雜的零件的清洗。尤其是采用這一技術後，可減少化學溶劑的用量，從而大大降低環境汙染。